Метод вибору вакуумного насоса
Вибираючи вакуумний насос, необхідно звернути увагу на наступні моменти:
1. Робочий тиск вакуумного насоса повинен відповідати вимогам до максимального вакууму та робочого тиску вакуумного обладнання. Наприклад, вакуумне покриття вимагає рівня вакууму 110-5 мм рт. ст., а ступінь вакууму вибраного вакуумного насоса має становити щонайменше 510-6 мм рт. ст. Зазвичай ступінь вакууму насоса вибирається наполовину або на порядок вищий за ступінь вакууму вакуумного обладнання.
2. Правильно вибрати робочу точку вакуумного насоса. Кожен насос має певний робочий діапазон тиску, наприклад: дифузійний насос становить 10-3~10-7 мм рт. ст., у такому широкому діапазоні тиску швидкість насоса змінюється залежно від тиску, і його стабільна робота діапазон тиску становить 510-4 ~510-6 мм рт. ст. Отже, робочу точку насоса слід вибирати в межах цього діапазону, і йому не можна дозволяти працювати протягом тривалого часу при зниженні 10-8 мм рт.ст. Інший приклад: титановий сублімаційний насос може працювати при температурі нижче 10-2 мм рт. ст., але його робочий тиск має бути меншим за 110-5 мм рт.
3. Під робочим тиском вакуумний насос повинен бути в змозі видалити весь газ, що утворюється в процесі роботи вакуумного обладнання. 4. Правильно поєднати вакуумний насос. Через вибіркове перекачування вакуумними насосами іноді один тип насоса не може задовольнити вимоги до перекачування, і кілька насосів потрібно об’єднати, щоб доповнювати один одного, щоб відповідати вимогам до перекачування. Наприклад, титановий сублімаційний насос має високу швидкість відкачування водню, але не може перекачувати гелій, тоді як триполюсний іонний насос для розпилення (або двополюсний асиметричний катодний іонний насос) має певну швидкість відкачування для аргону. У поєднанні вакуумний пристрій отримає кращий ступінь вакууму. Крім того, деякі вакуумні насоси не можуть працювати під атмосферним тиском і вимагають попереднього вакуумування; деякі вакуумні насоси мають тиск на виході нижчий за атмосферний і вимагають переднього насоса, тому всі вони повинні використовуватися в комбінації.
5. Вимоги до забруднення маслом вакуумного обладнання. Якщо суворо вимагається, щоб обладнання було безмасляним, слід вибрати різні безмасляні насоси, наприклад: водокільцевий насос, адсорбційний насос з молекулярним ситом, іонний насос для розпилення, кріогенний насос тощо. Якщо вимоги несуворі, ви можете можна вибрати масляний насос, а також деякі заходи проти забруднення нафтою, такі як додавання холодних пасток, перегородок, масляних пасток тощо, також можуть відповідати вимогам чистого вакууму.
6. Зрозумійте склад газу, що перекачується, чи містить газ, що конденсується, чи є частинки пилу, чи є він корозійним тощо. Вибираючи вакуумний насос, вам потрібно знати склад газу та вибрати відповідний насос для газ, який потрібно закачати. Якщо газ містить пару, частинки та корозійні гази, слід розглянути можливість встановлення допоміжного обладнання, такого як конденсатори, пиловловлювачі тощо, на вхідному трубопроводі насоса.
7. Як масляна пара, що випускається з вакуумного насоса, впливає на навколишнє середовище? Якщо навколишнє середовище не допускає забруднення, ви можете вибрати безмасляний вакуумний насос або викинути масляні пари назовні.
8. Чи впливає вібрація, створювана вакуумним насосом, на процес і навколишнє середовище. Якщо процес не дозволяє, вибирайте насос без вібрації або вживайте антивібраційних заходів.
9. Ціна, вартість експлуатації та обслуговування вакуумного насоса.